FOUP

FOUP (аббр. от англ. Front Opening Unified Pod[1] — Унифицированный модуль с фронтальной загрузкой или Front Opening Universal Pod[2], SEMI E47.1) — стандарт в микроэлектронной промышленности. Описывает специализированный пластиковый контейнер, предназначенный для хранения кремниевых пластин в контролируемой среде[3] и для перемещения групп пластин между разными производственными установками или измерительными станциями.

Стандарт FOUP появился вместе с первыми установками для обработки полупроводниковых пластин диаметром 300 миллиметров в середине 1990-х годов[4]. Размер пластин и их сравнительно низкая прочность не позволили использовать контейнеры сходные с SMIF. Для учета ограничений 300 мм пластин был разработан FOUP, при этом произошел отказ от системы со съёмной кассетой (wafer cassette). Пластины в FOUP удерживаются выступами по бокам контейнера. Вместо нижней открывающейся дверцы как в SMIF, новый стандарт использует съёмную переднюю дверь, которая позволяет роботизированному механизму перемещения пластин забрать подложку непосредственно из FOUP контейнера.

Вес пустого стандартного FOUP на 25 полупроводниковых пластин[5] превышает 5 килограммов, а полностью загруженного составляет около 9 килограммов, что слишком тяжело для надежной ручной транспортировки. Из-за этого с таким стандартом повсеместно применяются автоматизированные системы транспортировки материалов. Каждый контейнер имеет ряд стандартных соединительных пластин, выступов и отверстий на внешней поверхности, что позволяет точно позиционировать FOUP на загрузочных портах оборудования и перемещать их при помощи AMHS (Automated Material Handling System). Контейнеры FOUP обычно снабжены машиночитаемыми метками, например радиочастотными[6][7][8], что упрощает их идентификацию. Корпус контейнера может быть выполнен в определенном цвете, что может использоваться для обозначения пластин, находящихся на разных стадиях изготовления (например, Intel использовала оранжевый цвет с пластинами, содержащими медь, и зеленый цвет для пластин, покрытых алюминием)[8].

FOSB

Транспортировочный контейнер FOSB, вид с лицевой стороны

FOSB (англ. Front Opening Shipping Box) — вариант контейнера для транспортировки полупроводниковых пластин между производственными зданиями.[1]


См. также

Примечания

  1. ↑ 1 2 Yoshio Nishi; Robert Doering. Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology, Second Edition (англ.). — CRC Press, 2007. — P. 33—. — ISBN 978-1-4200-1766-3. — [Архивировано 3 февраля 2017 года.]
  2. ↑ Mikhail Baklanov; Paul S. Ho; Ehrenfried Zschech. Advanced Interconnects for ULSI Technology (англ.). — John Wiley & Sons, 2012. — P. 291—. — ISBN 978-1-119-96686-9. — [Архивировано 3 февраля 2017 года.]
  3. ↑ THE INTERNATIONAL ROADMAP FOR DEVICES AND SYSTEMS: 2017 - 4.2.1. NEW AMC TOPICS RELATED TO FACTORY INTEGRATION (AMC INTEGRATED CONCEPT)
  4. ↑ The Evolution of AMHS. Дата обращения: 8 апреля 2019. Архивировано 8 апреля 2019 года.
  5. ↑ https://books.google.ru/books?id=GAhEDwAAQBAJ& 33.2.4 Elements of Carriers and Tracking Systems] / Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology. ed. Yoshio Nishi, Robert Doering, CRC Press, 2017, ISBN 1351829823 (англ.)
  6. ↑ Применение радиочастотной идентификации в автоматизированной системе управления производственными процессами компании IBM Архивная копия от 8 апреля 2019 на Wayback Machine, Компоненты и Технологии, 2006 № 6
  7. ↑ Ann Breidenbach. Tracking Wafers With RFID. Архивная копия от 8 апреля 2019 на Wayback Machine Feb 1, 2006
  8. ↑ 1 2 Архивированная копия. Дата обращения: 8 апреля 2019. Архивировано 30 августа 2017 года.

Литература

  • Федотов А. Е. (ред.). Чистые помещения. Проблемы, теория, практика. 2003. Глава 15, Чистые помещения и чистые зоны в микроэлектронике.

Ссылки

Content Disclaimer

Informasi ini disarikan dari Wikipedia dan disajikan kembali untuk tujuan edukasi. Konten tersedia di bawah lisensi CC BY-SA 3.0. Kami tidak bertanggung jawab atas ketidakakuratan data yang bersumber dari kontribusi publik tersebut.

  1. The information displayed on this website is sourced in part or in whole from Wikipedia and has been adapted for the purpose of restating it. We strive to provide accurate and relevant information, however:
  2. There is no guarantee of absolute accuracy. Wikipedia is an open, collaborative project that can be edited by anyone, so information is subject to change.
  3. It is not intended to constitute professional advice. The content displayed is for informational and educational purposes only. For important decisions (e.g., medical, legal, or financial), please consult a professional.
  4. Content copyright. Wikipedia is licensed under the Creative Commons Attribution-ShareAlike License (CC BY-SA). This means that content may be reused with appropriate attribution and shared under a similar license.
  5. Responsible use. Any risk arising from the use of information from this website is entirely the responsibility of the user.