SMIF

SMIF
Контейнер SMIF POD для 6-дюймовых пластин (150 мм)
Контейнер SMIF POD для 6-дюймовых пластин (150 мм)
Создатель Hewlett-Packard
Создан 1980-е годы

SMIF (аббр. от англ. Standard Mechanical InterFace - Стандартный Механический ИнтерФейс) — стандарт SEMI[англ.] E19-1105[1] на механическое оборудование для автоматизированных микроэлектронных производств. Контейнеры SMIF позволяют хранить и перемещать наборы полупроводниковых пластин между установками, сохраняя повышенную чистоту.

История

Технология разработана в 1980-е годы в Hewlett-Packard, Пало-Альто (система «micronauts») для использования в чистых помещениях. Контейнеры SMIF (англ. SMIF Pod) служат для хранения и транспортировки нескольких полупроводниковых пластин в специальной кассете (англ. wafer cassette). Внутри контейнера поддерживается более высокая степень чистоты. Пластины располагаются горизонтально. В нижней части контейнера находится дверца, через которую кассета с пластинами загружается и выгружается из контейнера.

Целью SMIF является дополнительная изоляция пластин для предохранения их от загрязнения. Работа с контейнерами, загрузка и выгрузка пластин из них проводится автоматизированными загрузочными устройствами, являющимися частью технологического оборудования (например, степпер может иметь 2 SMIF-порта для контейнеров: один для пластин, не прошедших обработку, и другой для обработанных пластин). Таким образом, загрузка пластин не требует операций, проводимых непосредственно человеком. Внутренняя среда внутри контейнера и оборудования не контактирует с внешними потоками воздуха.

Контейнеры имеют идентификационные элементы (номер, штрихкод, электронные ярлыки). Их корпус изготовлен из пластика. Для транспортировки контейнеров могут применяться люди или роботизированные системы (называемые AMHS, от Automated Material Handling System; например, подвесные монорельсовые системы[2])

SMIF применяется при работе с пластинами диаметром до 200 мм. Для более крупных пластин (300 и 450 мм) применяется стандарт FOUP (Front Opening Unified Pod; SEMI E47.1-1106).

Кроме работы с пластинами, контейнеры могут применяться и для работы с фотолитографическими масками.

Примечания

  1. ↑ E19-1105. Дата обращения: 13 ноября 2010. Архивировано 6 марта 2012 года.
  2. ↑ А.И.Сухопаров. Проект “Ангстрем-Т”: первая российская smart-foundry. Архивная копия от 8 апреля 2019 на Wayback Machine / Электроника НТБ Выпуск #6/2008. «перемещение пластин между участками будет происходить в специальных SMIF-контейнерах по монорельсам»

Content Disclaimer

Informasi ini disarikan dari Wikipedia dan disajikan kembali untuk tujuan edukasi. Konten tersedia di bawah lisensi CC BY-SA 3.0. Kami tidak bertanggung jawab atas ketidakakuratan data yang bersumber dari kontribusi publik tersebut.

  1. The information displayed on this website is sourced in part or in whole from Wikipedia and has been adapted for the purpose of restating it. We strive to provide accurate and relevant information, however:
  2. There is no guarantee of absolute accuracy. Wikipedia is an open, collaborative project that can be edited by anyone, so information is subject to change.
  3. It is not intended to constitute professional advice. The content displayed is for informational and educational purposes only. For important decisions (e.g., medical, legal, or financial), please consult a professional.
  4. Content copyright. Wikipedia is licensed under the Creative Commons Attribution-ShareAlike License (CC BY-SA). This means that content may be reused with appropriate attribution and shared under a similar license.
  5. Responsible use. Any risk arising from the use of information from this website is entirely the responsibility of the user.